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EVO系列扫描电子显微镜
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产品描述

EVO系列将高性能的扫描电镜和直观的、友好的用户界面体验结合在一起, 同时能够吸引经验丰富的用户以及新用户。无论是在生命科学, 材料科学, 或例行的工业质量力求和失效分析领域,凭借广泛的可选配置, EVO 都可以根据您的要求量身定制。

显微镜中心或工业质量力求实验室的多功能解决方案

不同的真空室大小和可满足所有应用要求的载物台选项-甚至是大型工业零部件样品

使用LaB6灯丝,能够得到更优的图像质量

对不导电和无导电涂层的样品的成像和分析性能出色

可以配置多种分析探测器用于满足各种显微分析应用的需求

蔡司电镜|EVO系列扫描电子显微镜特点:

=便捷的可用性

SmartSEM Touch可以通过使用您的指尖与其进行交互式工作流程控制。它简单易学, 大大减少了培训所付出的努力和成本,甚至新用户在几分钟内也能够捕捉令人惊叹的图像。此用户界面还支持需要自动化工作流程以执行可重复检查任务的工业操作员。

=优的图像质量

EVO 擅长于对未经处理和没有导电涂层的样品获取的数据。EVO 还允许样品保留其原始状态, 维持含水和重污染样品的数据质量。此外当成像和微量分析面临挑战时,选用LaB6灯丝则能够给予更好的分辨率、 对比度和信噪比。

=EVO 能够与其它设备相关联

EVO可以作为半自动、多模式工作流程的一部分,通过重新定位感兴趣区域,并以多种方式收集数据,形成信息的完整性。将光学和电子显微镜图像合并起来进行材料表征或零件检验,或者将 EVO 与蔡司光学显微镜相关联,进行关联颗粒度分析。

 

蔡司电镜|EVO系列扫描电子显微镜真空室尺寸选择:


蔡司EVO 10

蔡司EVO 15

蔡司EVO 25


 选择 EVO 10(可选配BSDEDS)是您想以一个非常实惠的价格购买扫描电子显微镜的切入点。即使这个EVO真空室很小,它也不同于台式电镜。您现在在 EVO 的投资力求了您已经为将来需要更多空间和端口的应用做好了准备。

EVO 15 充分展示了 EVO 家族的灵活性概念, 并擅长于分析应用。选择 EVO 15 更大的真空室, 并增加对不导电样品或零件的成像和分析的可变压力模式, 你将有一个多功能多用途的显微镜设备或者工业质量力求实验室的解决方案。

EVO25 是工业的主力解决方案, 它有足够的空间以容纳甚至更大的部件和组件。可选的 80 mm Z 轴行程载物台可进一步扩展 EVO 25的功能, 它可以处理重量高达2公斤的样品甚至倾斜。此外, 大的真空室将能够容纳多个分析检测器以满足苛刻的微量分析应用需求。

大样品高度

100 mm

145 mm

210 mm

大样品直径

230 mm

250 mm

300 mm

电动载物台行程XYZ

 80 x 100 x 35 mm

125 x 125 x 50 mm

130 x 130 x 50 ( 80) mm

高真空模式 (HV) 
导电样品质量的成像与分析

 

 

  

可变压力模式 (VP) 

不导电且不喷涂导电层样品的成像和分析

 

 

 

扩展压力模式 (EP)
含水或被污染的样品在其自然状态下成像

 

 

 

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蔡司电镜|EVO系列扫描电子显微镜应用示例:

=电子行业:

·目视检查电子元件、集成电路、MEMS 器件和太阳能电池

·铜丝表面及晶体结构的研究

·金属腐蚀研究    

·断面失效分析

·Wire bonding线脚检查

·电容表面成像

=金属行业:

·对金属样品和夹杂物的结构、化学和结晶学进行成像和分析

·相、颗粒、焊缝和失效分析


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